大家对于美国Omega气体FMA系列流量计了解吗?接下来为大家简要概述一下: 一、产品概述(Omega FMA气体系列) FMA是Omega主打气体质量流量测量/控制的全系列产品线,覆盖微流量到大流量、经济型到流量计到控制器,核心是热式质量流量原理,直接测质量流量,无需温压补偿 。 1. 核心原理 - 主流:热式(毛细管/旁路加热):通过测量气体带走的热量计算质量流量,直接质量流量、不受温压影响
- 层流差压(LFE):FMA-1600A/PC16用层流元件+温压补偿,测体积+质量+压力+温度四参数 2. 系列定位(按功能/精度) - 经济型(入门):FMA1700A/1800A → 10 SCCM~1000 SLM,铝/316SS,带/不带屏,模拟输出
- 标准型(主流):FMA-A2000/2300/2400 → 0~100 SLM,高精度±1%,LCD,模拟+数字
- 多功能型:FMA4100/4300 → 可编程、累加器、报警、RS232/485、多气体标定
- 多参数型:FMA1600A/PC16 → 同时测流量、压力、温度、体积,便携款
- 控制型:FMA5400/5500、FMA2700/2800 → 带比例阀,测量+控制一体
- 大流量:FMA3700/3800 → 替代停产700/800,最高1000 SLM 3. 核心参数(通用) - 量程:0.5 SCCM~1500 SLM(覆盖微流量到大流量)
- 精度:±1% FS(主流);±2% FS(大流量>500 SLM)
- 重复性:±0.15%~±0.2% FS
- 响应时间:2~5秒(热式);<10ms
- 量程比:50:1~200:1
- 输出:0~5V/4~20mA(模拟);RS232/485(数字);继电器(报警)
- 材质:铝/黄铜(经济型);316SS(耐腐蚀);FKM密封
- 认证:NIST溯源、CE、RoHS 二、功能用途(按场景) 1. 基础监测(经济型) - 实验室/分析仪器:气相色谱、质谱、环境监测、气体配比
- OEM设备:包装机、燃烧器、焊接、等离子、3D打印
- 洁净气体监控:氮气、氩气、氧气、压缩空气、氢气(防爆)
- 替代转子流量计:无机械磨损、数字显示、模拟输出、更稳定 2. 精密测量(标准/多功能) - 过程控制:化工、制药、食品、半导体、电子制造
- 气体配比/混合:多气体精确配比、焊接保护气、燃烧控制
- 流量累加/计量:FMA4100/4300带累加器,用于气体消耗统计、计费
- 报警/联锁:上下限报警、断气/超流量保护、设备安全联锁 3. 多参数与便携(FMA1600A/PC16) - 现场校准:FMA-PC16便携套装,用于流量计校准、气体分析仪标定
- 多参数监测:同时读质量流量、体积流量、压力、温度,无需额外传感器
- 野外/移动测试:电池供电,无预热,无需直管段,快速部署 4. 闭环控制(控制型) - 精确流量控制:FMA5400/5500带比例阀,设定值→测量→调节闭环
- 半导体/光伏:CVD、蚀刻、沉积、离子注入、气体精确供给
- 燃料电池/氢能:氢气、空气精确控制、燃料电池测试
- 实验室反应釜:气体进料控制、催化反应、合成实验 5. 特殊气体与工况 - 腐蚀性气体:316SS+FKM,适配氯气、氨气、硫化氢、腐蚀性混合气
- 微流量控制:10 SCCM以下,用于医疗、分析、精密喷涂、微量加注
- 防爆环境:ATEX/CSA防爆款,用于化工、油气、煤矿、氢气应用
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