美国bird 8921SC13型双电射频终止载荷美国bird 8921SC13型双电射频终止载荷为了大限度地提高工艺的重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。射频发生器的校准、调节和监控是确保射频电源准确、可重复地向腔室输送射频电源的关键组成部分。当使用像BAN4020系列这样的精密功率传感器时,VSWR目前提供超稳定、低VSWR负载,用于快速和精确地测量发电机输出功率。8921SC13不仅提供低VSWR,而且在过程临界频率下,VSWR的总变化小于0.1分贝。由于校准时间不同,没有必要进行负载热身或重复性风险。这可以最小化与此校准相关的错误,并控制更关键的过程变量之一。

  美国bird 8921SC13型双电射频终止载荷技术规格如下：

项目编号

8921SC13

项目名称

5千瓦,超稳定,油电射频终止载荷

功率等级

5千瓦

频率范围及VSWR

直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1

阻挡物

50 (nominal)

Vswr稳定性

0-100%的稳定频率功率

稳定频率

13.56兆赫+10千赫

连接器

"QC" Type LC (Female) - normally supplied

互锁热开关-可选

一般都是封闭的。在236℃(457华氏度)开放

热开关等级

115伏,10a
230真空,5a

温度范围

操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
储存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)

高度

1520 m (5000 ft.)

潮湿

95%不凝结最大值。

冷却法

石油介质和对流电流

尺寸

32.8" x 9.5" x 26.9"
832x241x681毫米

重量

126 lbs.
57千克

结束

环氧树脂

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